Deutsch
Erstellt 07.09
Fokus auf saubere, trockene Luft (CDA)
Ein kritischer Bestandteil der Halbleiterproduktion ist die Clean Dry Air (CDA) Installation. Dazu gehören der Kompressorboden und der Trockner/Filterboden. Der Prozess umfasst eine Reihe von Schritten, um eine optimale Luftreinheit sicherzustellen, die für die Produktionsumgebung unerlässlich ist.
Die Reise zur Erreichung von zertifizierter sauberer, trockener und ölfreier Luft umfasst mehrere Phasen:
l Umgebungsluft
Die anfänglichen Luftreinheitswerte werden gemessen.
l Komprimierte gesättigte Luft
Die Luft wird komprimiert, wodurch die relative Luftfeuchtigkeit und die Konzentration von Schadstoffen in der Luft erhöht werden.
l Vorfiltrierte gesättigte Luft
Bevor die Luft zum Trockner gelangt, wird eine erste grobe Filtration durchgeführt, um zu vermeiden, dass diese Partikel in den Trockner gelangen.
l Vorgekühlte Trockenluft
Der Adsorptionstrockner reduziert die Luftfeuchtigkeit auf einen Drucktaupunkt (PDP) von –100 °C
l Gefilterte Trockenluft
Nach dem Trockner gibt es eine erste Stufe der Nachfiltration, um alle Staubübertragungen zu erfassen. Hinter diesem Filter haben wir immer noch einen absoluten letzten Filtrationsschritt, um die letzten Partikel zu entfernen und eine Luftqualität bis zu 0,01 µm zu garantieren.
Für Produkt- oder Verkaufsanfragen kontaktieren Sie bitte:
Shanghai A-Turbo Energy Technology Co., Ltd
Tel: +86 13816886438
Email: zhu@a-turbocn.com
Website: www.a-turbocn.com
Kontakt
Hinterlassen Sie Ihre Informationen und wir werden Sie kontaktieren.