Một thành phần quan trọng trong sản xuất bán dẫn là hệ thống Không Khí Khô Sạch (CDA). Điều này bao gồm sàn máy nén và sàn máy sấy/lọc. Quy trình này bao gồm một loạt các bước để đảm bảo độ tinh khiết của không khí tối ưu, điều này là cần thiết cho môi trường sản xuất.
Hành trình đạt được không khí sạch, khô và không dầu được chứng nhận bao gồm nhiều giai đoạn:
l Không khí xung quanh
Các mức độ tinh khiết không khí ban đầu được đo lường.
l Không khí bão hòa nén
Không khí bị nén, làm tăng độ ẩm tương đối và nồng độ chất ô nhiễm trong không khí
l Không khí bão hòa đã được lọc trước
Trước khi không khí vào máy sấy, một quá trình lọc thô đầu tiên được thực hiện để tránh các hạt đó lọt vào máy sấy.
l Không khí khô đã được làm mát trước
Máy sấy hút ẩm giảm độ ẩm trong không khí xuống đến Điểm Sương Áp Suất (PDP) là –100°C
l Không khí khô đã lọc
Sau máy sấy, có một giai đoạn lọc sau đầu tiên để bắt tất cả bụi bẩn còn lại. Phía sau bộ lọc đó, chúng tôi vẫn có một bước lọc cuối cùng tuyệt đối để loại bỏ các hạt cuối cùng và đảm bảo chất lượng không khí xuống đến 0,01um.
Đối với các yêu cầu về sản phẩm hoặc bán hàng, vui lòng liên hệ:
Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng A-Turbo Thượng Hải
Tel: +86 13816886438
Email: zhu@a-turbocn.com
Website: www.a-turbocn.com