Yarı iletken üretiminde kritik bir bileşen, Temiz Kuru Hava (CDA) tesisidir. Bu, kompresör katını ve kurutucu/filtre katını içerir. Süreç, üretim ortamı için hayati öneme sahip olan optimal hava saflığını sağlamak için bir dizi adımı içerir.
Sertifikalı temiz, kuru ve yağsız havaya ulaşma yolculuğu birkaç aşamadan oluşur:
l Ortam Havası
Başlangıç hava saflık seviyeleri ölçülür.
l Sıkıştırılmış Doymuş Hava
Hava sıkıştırılır, havadaki bağıl nem ve kirleticilerin konsantrasyonu artar.
l Önceden filtrelenmiş doymuş hava
Hava kurutucuya gitmeden önce, parçacıkların kurutucuya girmesini önlemek için ilk kaba filtrasyon yapılır.
l Önceden soğutulmuş Kuru Hava
Nem alma kurutucusu, havadaki nemi –100°C'ye kadar bir Basınç Çiğ Noktası (PDP) seviyesine düşürür.
l Filtrelenmiş Kuru Hava
Kurutucudan sonra, tüm toz taşınmasını yakalamak için birinci aşama sonrası filtrasyon vardır. O filtrenin arkasında, son parçacıkları çıkarmak ve hava kalitesini 0.01um'a kadar garanti etmek için hala mutlak bir son filtrasyon aşaması bulunmaktadır.
Ürün veya satış talepleri için lütfen iletişime geçin:
Şanghay A-Turbo Enerji Teknolojisi A.Ş.
Tel: +86 13816886438
Email: zhu@a-turbocn.com
Website: www.a-turbocn.com