半導體生產中的一個關鍵組成部分是潔淨乾燥空氣(CDA)安裝。這包括壓縮機樓和乾燥機/過濾器樓。該過程涉及一系列步驟,以確保最佳的空氣純度,這對生產環境至關重要。
達成認證的清潔、乾燥和無油空氣的過程涉及幾個階段:
l 環境空氣
初始空氣純度水平被測量。
壓縮飽和空氣
空氣被壓縮,增加了相對濕度和空氣中污染物的濃度
l 預過濾飽和空氣
在空氣進入烘乾機之前,會進行第一次粗略過濾,以避免那些顆粒進入烘乾機。
l 預冷乾燥空氣
該乾燥劑乾燥機將空氣中的濕度降低至壓力露點(PDP)為–100°C
l 過濾乾燥空氣
在烘干机之后,有第一阶段的后过滤,以捕捉所有的灰尘携带物。在那个过滤器后面,我们仍然有一个绝对的最终过滤步骤,以去除最终颗粒,并保证空气质量达到0.01微米。
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