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Criado em 07.09
Foco em Ar Limpo e Seco (CDA)
Um componente crítico na produção de semicondutores é a instalação de Ar Limpo e Seco (CDA). Isso inclui o piso do compressor e o piso do secador/filtro. O processo envolve uma série de etapas para garantir a pureza do ar ideal, que é essencial para o ambiente de produção.
A jornada para alcançar ar limpo, seco e livre de óleo certificado envolve várias etapas:
l Ar Ambiente
Os níveis iniciais de pureza do ar são medidos.
l Ar Comprimido Saturado
O ar é comprimido, aumentando a umidade relativa e a concentração de contaminantes no ar
l Ar Saturado Pré-filtrado
Antes que o ar vá para o secador, uma primeira filtração grosseira é feita para evitar que essas partículas entrem no secador.
l Ar Seco Pré-resfriado
O secador dessecante reduz a umidade no ar até um Ponto de Orvalho de Pressão (PDP) de –100°C
l Ar Seco Filtrado
Após o secador, há uma primeira etapa de filtragem posterior para capturar toda a poeira transportada. Atrás desse filtro, ainda temos uma etapa de filtragem final absoluta para remover as partículas finais e garantir uma qualidade do ar de até 0,01um.
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