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생성 날짜 07.09
청정 건조 공기(CDA)
반도체 생산의 중요한 구성 요소는 청정 건조 공기(CDA) 설치입니다. 여기에는 압축기 바닥과 건조기/필터 바닥이 포함됩니다. 이 과정은 최적의 공기 순도를 보장하기 위한 일련의 단계를 포함하며, 이는 생산 환경에 필수적입니다.
인증된 깨끗하고 건조하며 기름이 없는 공기를 달성하는 여정은 여러 단계를 포함합니다:
l 주변 공기
초기 공기 청정도 수준이 측정됩니다.
압축 포화 공기
공기가 압축되어 상대 습도와 공기 중 오염물질 농도가 증가합니다.
l 전처리된 포화 공기
공기가 건조기로 가기 전에 첫 번째 거친 필터링이 이루어져 이러한 입자가 건조기로 들어가는 것을 방지합니다.
l 냉각된 건조 공기
탈습 건조기는 공기 중의 습도를 –100°C의 압력 이슬점(PDP)까지 낮춥니다.
l 필터링된 건조 공기
건조기 뒤에는 모든 먼지 이송을 포착하기 위한 1단계 후 필터링이 있습니다. 그 필터 뒤에는 최종 입자를 제거하고 0.01um까지의 공기 질을 보장하기 위한 절대적인 최종 필터링 단계가 여전히 있습니다.
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상하이 A-Turbo 에너지 기술 유한회사
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