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作成日 07.09
クリーン・ドライ・エア（CDA）に焦点を当てる
半導体製造における重要な要素は、クリーンドライエア（CDA）設備です。これには、コンプレッサーフロアとドライヤー/フィルターフロアが含まれます。このプロセスは、製造環境に不可欠な最適な空気の純度を確保するための一連のステップを含みます。
認証された清潔で乾燥した油分のない空気を達成するための旅は、いくつかの段階を含みます：
l 周囲の空気
初期の空気清浄度レベルが測定されます。
圧縮飽和空気
空気が圧縮され、相対湿度と空気中の汚染物質の濃度が増加します
l 事前フィルタリングされた飽和空気
空気が乾燥機に入る前に、乾燥機に粒子が入らないように最初の粗いフィルタリングが行われます。
l プレクールドドライエア
除湿乾燥機は、空気中の湿度を–100°Cの圧力露点（PDP）まで低下させます。
l フィルタードライエア
ドライヤーの後には、すべてのほこりの持ち出しを捕らえるための一次後処理があります。そのフィルターの後には、最終的な粒子を除去し、0.01umまでの空気品質を保証するための絶対的な最終フィルタリングステップがあります。
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