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बना गयी 07.09
स्वच्छ सूखी हवा (CDA)
सेमीकंडक्टर उत्पादन में एक महत्वपूर्ण घटक क्लीन ड्राई एयर (CDA) स्थापना है। इसमें कंप्रेसर फ़्लोर और ड्रायर/फ़िल्टर फ़्लोर शामिल हैं। यह प्रक्रिया वायु की सर्वोत्तम शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए कई चरणों को शामिल करती है, जो उत्पादन वातावरण के लिए आवश्यक है।
सर्टिफाइड स्वच्छ, सूखी, और तेल-मुक्त हवा प्राप्त करने की यात्रा में कई चरण शामिल हैं:
l पर्यावरणीय वायु
प्रारंभिक वायु शुद्धता स्तरों को मापा जाता है।
l संकुचित संतृप्त वायु
हवा संकुचित होती है, जिससे सापेक्ष आर्द्रता और हवा में प्रदूषकों की सांद्रता बढ़ जाती है।
l पूर्व-फिल्टर किया गया संतृप्त वायु
एयर को ड्रायर में जाने से पहले एक पहली मोटी फ़िल्ट्रेशन की जाती है ताकि उन कणों को ड्रायर में जाने से रोका जा सके।
l प्री-कूल्ड ड्राई एयर
डेसिकेंट ड्रायर हवा में नमी को –100°C के प्रेशर ड्यू पॉइंट (PDP) तक कम करता है।
l फिल्टर किया हुआ सूखा हवा
ड्रायर के बाद एक पहले चरण का बाद का फ़िल्ट्रेशन है जो सभी धूल को पकड़ने के लिए है। उस फ़िल्टर के पीछे हमारे पास अंतिम कणों को हटाने और 0.01um तक की वायु गुणवत्ता की गारंटी देने के लिए एक पूर्ण अंतिम फ़िल्ट्रेशन चरण है।
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शंघाई ए-टर्बो एनर्जी टेक्नोलॉजी कं, लिमिटेड
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