یک جزء حیاتی در تولید نیمهرساناها، نصب هوای خشک و تمیز (CDA) است. این شامل کف کمپرسور و کف خشککن/فیلتر است. این فرآیند شامل مجموعهای از مراحل برای اطمینان از خلوص بهینه هوا است که برای محیط تولید ضروری است.
سفر به دستیابی به هوای تمیز، خشک و بدون روغن گواهی شده شامل چندین مرحله است:
l هواي محيط
سطح خلوص هوای اولیه اندازهگیری میشود.
هوای اشباع فشرده
هوا فشرده میشود و رطوبت نسبی و غلظت آلایندهها در هوا افزایش مییابد.
l هوای اشباع پیشفیلتر شده
قبل از اینکه هوا به خشککن برود، یک فیلتر کردن اولیه انجام میشود تا از ورود ذرات به خشککن جلوگیری شود.
l هوای خشک پیشسرد شده
خشککننده رطوبت، رطوبت موجود در هوا را به نقطه شبنم فشار (PDP) معادل –100°C کاهش میدهد.
هوای خشک فیلتر شده
پس از خشککن، یک مرحله اول از فیلتر کردن بعدی وجود دارد تا تمام گرد و غبار منتقل شده را جذب کند. پشت آن فیلتر هنوز یک مرحله نهایی مطلق فیلتر کردن داریم تا ذرات نهایی را حذف کرده و کیفیت هوایی تا 0.01 میکرون را تضمین کنیم.
برای سوالات مربوط به محصول یا فروش لطفاً با ما تماس بگیرید:
شرکت فناوری انرژی A-Turbo شانگهای
Tel: +86 13816886438
ایمیل: zhu@a-turbocn.com
وبسایت: www.a-turbocn.com