Un componente crítico en la producción de semiconductores es la instalación de Aire Seco Limpio (CDA). Esto incluye el piso del compresor y el piso del secador/filtro. El proceso implica una serie de pasos para garantizar la pureza óptima del aire, que es esencial para el entorno de producción.
El viaje hacia la consecución de aire certificado limpio, seco y libre de aceite implica varias etapas:
l Aire Ambiental
Se miden los niveles de pureza del aire iniciales.
l Aire Comprimido Saturado
El aire se comprime, aumentando la humedad relativa y la concentración de contaminantes en el aire
l Aire Saturado Pre-filtrado
Antes de que el aire vaya a la secadora, se realiza una primera filtración gruesa para evitar que esas partículas entren en la secadora.
l Aire seco precalentado
El secador deshidratante reduce la humedad en el aire hasta un Punto de Rocío de Presión (PDP) de –100°C
l Aire Seco Filtrado
Después del secador, hay una primera etapa de post-filtración para capturar todo el polvo que se transporta. Detrás de ese filtro, todavía tenemos un paso de filtración final absoluto para eliminar las partículas finales y garantizar una calidad del aire de hasta 0.01um.
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