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创建于07.09
专注于清洁干燥空气 (CDA)
半导体生产中的一个关键组成部分是洁净干燥空气（CDA）系统。这包括压缩机楼和干燥器/过滤器楼。该过程涉及一系列步骤，以确保最佳的空气纯度，这对于生产环境至关重要。
实现认证的清洁、干燥和无油空气的过程涉及几个阶段：
l 环境空气
初始空气纯度水平被测量。
l 压缩饱和空气
空气被压缩，增加了相对湿度和空气中污染物的浓度
l 预过滤饱和空气
在空气进入干燥机之前，首先进行粗过滤，以避免这些颗粒进入干燥机。
l 预冷干燥空气
干燥剂干燥机将空气中的湿度降低到-100°C的压力露点（PDP）
l 过滤干燥空气
在干燥机之后，有一个初步的后过滤阶段，以捕获所有的灰尘携带物。在那个过滤器后面，我们仍然有一个绝对的最终过滤步骤，以去除最终颗粒，并保证空气质量达到0.01微米。
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